離子風(fēng)機(jī)的測試方法
符合性驗(yàn)證程序基于ESD STM3.1目的符合性驗(yàn)證程序目的是為了驗(yàn)證離子風(fēng)機(jī)的消散時(shí)間和殘留電壓（離子平衡）在使用者規(guī)范的規(guī)格范圍內(nèi)；周期檢驗(yàn)程序中的測試步驟通用于下列類別的電離設(shè)備；離子室，層流罩，工作臺(tái)和自動(dòng)化設(shè)備（臺(tái)式和懸掛式），噴氣（噴槍或噴嘴）。測試設(shè)備平板靜電監(jiān)測儀。秒表或其他適宜的計(jì)時(shí)器通常在便攜式測試儀測量消散時(shí)間時(shí)使用。測試程序——初始測試設(shè)置測試點(diǎn)應(yīng)設(shè)在離子中和ESDS元器件
2019-03-16
